Do windows-1252 Variability Chart(Variability Chart(Y( :CD), X( :Lot, :Chamber, :Wafer), Std Dev Chart(1), SendToReport(Dispatch({"Variability Chart for CD"}, "", NomAxisBox, Rotated Tick Labels(1)), Dispatch({"Variability Chart for CD"}, "", NomAxisBox, Rotated Tick Labels(1)))))"oCC$!-<GQ|Lot GRow order levels(1)  111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111222222222222222222222222222222222222333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333333444444444444444444444444444444444444444444444444444444444444444444444444444444444444444444444444444Chamber &  EPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01A EPGA-02 A EPGA-02 A EPGA-02 A EPGA-02 A EPGA-02 A EPGA-02 A EPGA-02 A EPGA-02 A EPGA-02 A EPGA-02 A EPGA-02 A EPGA-02 A EPGA-02 A EPGA-02 A EPGA-02 A EPGA-02 A EPGA-02 A EPGA-02 A EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 CEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01A EPGA-02 A EPGA-02 A EPGA-02 A EPGA-02 A EPGA-02 A EPGA-02 A EPGA-02 A EPGA-02 A EPGA-02 A EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 A EPGA-02 A EPGA-02 A EPGA-02 A EPGA-02 A EPGA-02 A EPGA-02 A EPGA-02 A EPGA-02 AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01A EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 A EPGA-02 A EPGA-02 A EPGA-02 A EPGA-02 A EPGA-02 A EPGA-02 A EPGA-02 A EPGA-02 A EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 BEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01A EPGA-02 A EPGA-02 A EPGA-02 A EPGA-02 A EPGA-02 A EPGA-02 A EPGA-02 A EPGA-02 A EPGA-02 A EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 CEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01A EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 A EPGA-02 A EPGA-02 A EPGA-02 A EPGA-02 A EPGA-02 A EPGA-02 A EPGA-02 A EPGA-02 A EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 C EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 B EPGA-02 A EPGA-02 A EPGA-02 A EPGA-02 A EPGA-02 A EPGA-02 A EPGA-02 A EPGA-02 A EPGA-02 AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AEPGA-01AWafer  c. c  @@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@"@"@"@"@"@"@"@"@"@@@@@@@@@@&@&@&@&@&@&@&@&@&?????????@(@(@(@(@(@(@(@(@(@ @ @ @ @ @ @ @ @ @$@$@$@$@$@$@$@$@$@(@(@(@(@(@(@(@(@(@3@3@3@3@3@3@3@3@3@,@,@,@,@,@,@,@,@,@@@@@@@@@@7@7@7@7@7@7@7@7@7@*@*@*@*@*@*@*@*@*@&@&@&@&@&@&@&@&@&@$@$@$@$@$@$@$@$@$@"@"@"@"@"@"@"@"@"@@@@@@@@@?????????@3@3@3@3@3@3@3@3@3@@@@@@@@@@@@@@@@@@@0@0@0@0@0@0@0@0@0@"@"@"@"@"@"@"@"@"@4@4@4@4@4@4@4@4@4@3@3@3@3@3@3@3@3@3@2@2@2@2@2@2@2@2@2@1@1@1@1@1@1@1@1@1@.@.@.@.@.@.@.@.@.@(@(@(@(@(@(@(@(@(@7@7@7@7@7@7@7@7@7@,@,@,@,@,@,@,@,@,@ @ @ @ @ @ @ @ @ @5@5@5@5@5@5@5@5@5Site  c. c  ?@@@@@@@ @"?@@@@@@@ @"?@@@@@@@ @"?@@@@@@@ @"?@@@@@@@ @"?@@@@@@@ @"?@@@@@@@ @"?@@@@@@@ @"?@@@@@@@ @"?@@@@@@@ @"?@@@@@@@ @"?@@@@@@@ @"?@@@@@@@ @"?@@@@@@@ @"?@@@@@@@ @"?@@@@@@@ @"?@@@@@@@ @"?@@@@@@@ @"?@@@@@@@ @"?@@@@@@@ @"?@@@@@@@ @"?@@@@@@@ @"?@@@@@@@ @"?@@@@@@@ @"?@@@@@@@ @"?@@@@@@@ @"?@@@@@@@ @"?@@@@@@@ @"?@@@@@@@ @"?@@@@@@@ @"?@@@@@@@ @"?@@@@@@@ @"?@@@@@@@ @"?@@@@@@@ @"?@@@@@@@ @"?@@@@@@@ @"CD  c. c  ?4m8?$tS?vȴ9X? qu"?73?Fs?oi?[W>6?ߤ??1&x?v_ح?hۋq ?rGE8? M:?˒:)z?VϪ?MjO?*0 ?hۋq ?͞&?6C??;dZ?{J#9?.2X?Vt?H˒:*?.H?حU?{J#9??!-w1?iDg8~? qu"?rGE8?ߤ??bM? M:?-V??U=K?!-w1?4֡a?H˒:*?[W>6?$ xF?|hr? qu"?rG?͞&????-V???A7Kƨ?H˒:*?iDg8~?䎊q?H˒:*?As?VϪ???iDg8~??- qv?'RT`e?F]c?-V?iDg8~? ?VϪ?{J#9?*0U2?Fs?,6?;dZ?MjO?"`?)_??>BZc ? ěT?VϪ?ѷX?>BZc ?$tS?2W?"`?_Ft?!R<6?-V?oi?r ě?rG?+ ?b}Vm?l"h ԕ?Xy=c?F]c?˒:)?[W>6??}H?Fs?*0 ?hۋq ?- ?A7Kƨ??䎊? ?حU?쿱[W??MjO?4m8?U2a|?vȴ? ԕ*?حU?oi?4m8?vȴ9X?"`??rGE8?K]cA?䎊q?ߤ??6C?4m8?}H?҈p:?$ xF?6C?'RT`e?v_ح?A7Kƨ?F]c?[W>6?4֡a?!-w1?p:~?U=K?͞&?Vt?Vu?ѷX?H?)?cA \?5?|h?jOv`?%2??zG?hۋq?qiC?5Xy=?(?+j?+j?BZc?5?|h?cA \?+ ? qu? (?_o?U=?zG?vȴ?쿱[W??8YK?H˒:?2W?\>? (?ceO?jOv`?}Vl!?O;d? (?ߤ??'/V?8YK?+j?(? qu?!R<6?5?|h?zG?c ?H?iB?Vl!-?U=???iB?}Vl!?H?[W>?Vu?[W>?(?-V?p =q?O;d?\N;?H˒:?E?u%?ѷX?)? qu?p =q?p:~?BZc?B?cA \?BZc?ѷX?U=?.2X?(?H?cA \?[W>?(?Ov_ح?+j?/v?ߤ??\>?}Vl!?($ xG?b}?\(\?쿱[W??+j?C\?%?m?H˒:? qu?/v?qiC?H?;5Xy?jOv`